台积电申请非易失性存储器专利,提供具有改进的栅极结构的闪存及其制造方法

文/夏洛特2024-02-12 09:30:16来源:第三方供稿

金融界2024年2月9日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司申请一项名为“非易失性存储器、半导体器件以及形成半导体器件的方法“,公开号CN117545277A,申请日期为2019年9月。

专利摘要显示,根据本申请的实施例,各种实施例提供具有改进的栅极结构的闪存及其制造方法。闪存包括多个存储器单元,多个存储器单元包括存储器栅极、选择栅极、栅极介电层以及形成在栅极介电层的上表面上的保护盖。保护盖保护栅极介电层,并防止存储器和选择栅极通过导电材料无意地彼此电连接。根据本申请的实施例,还提供了非易失性存储器、半导体器件以及形成半导体器件的方法。

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