金融界2024年2月8日消息，据国家知识产权局公告，无锡沃格自动化科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺“，公开号CN117524943A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种晶圆自动贴膜机，其包括搬运机构、上料料仓、供料机构、相机定位组件、暂存机构、贴膜平台、贴膜机构和裁切机构，暂存机构包括暂存平台，暂存平台用于承载晶圆，相机定位组件被配置为获取晶圆的位置信息，贴膜机构被配置为贴膜料，上述晶圆自动贴膜机采用相机定位组件取代传统的晶圆寻边器，贴膜平台集多功能于一体，能一次性将产品贴膜完成，无需分多次在不同设备上贴膜，大大提高了生产效率，降低了晶圆贴膜后的损坏率，同时减低了生产成本，不仅结构简单、设计巧妙，而且一次性可以对晶圆贴两层甚至更多层膜，同时也可以调整贴膜角度，无需分多次贴膜，另外一定尺寸范围内的晶圆都可以在同一平台上贴膜，显著提高了兼容性。