金融界2024年3月27日消息,據國家知識產權局公告,珠海奔彩電子股份有限公司申請一項名為“一種噴液芯片及其制作方法“,公開號CN117766535A,申請日期為2023年12月。
專利摘要顯示,本申請實施例提供一種噴液芯片及其制作方法,涉及半導體技術領域。所述方法包括:提供複數個以大於一倍的放大倍率光罩曝光制作的基底芯片,每個基底芯片至少包含:多個噴液致動熱阻,用於提供噴出液體的能量;多個晶體管,作為所述噴液致動熱阻的驅動開關;提供至少一層以等倍光罩曝光制作的等倍層,該等倍層至少包含一層等倍金屬層,該等倍金屬層形成至少一條導線;所述基底芯片在所述晶圓相鄰排列,晶圓切割時將此複數個基底芯片和所述等倍層以切割形成一個噴液芯片。所述噴液芯片在具有大打印幅寬的同時,生產成本得到了降低。