金融界2024年3月27日消息，据国家知识产权局公告，珠海奔彩电子股份有限公司申请一项名为“一种喷液芯片及其制作方法“，公开号CN117766535A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种喷液芯片及其制作方法，涉及半导体技术领域。所述方法包括：提供复数个以大于一倍的放大倍率光罩曝光制作的基底芯片，每个基底芯片至少包含：多个喷液致动热阻，用于提供喷出液体的能量；多个晶体管，作为所述喷液致动热阻的驱动开关；提供至少一层以等倍光罩曝光制作的等倍层，该等倍层至少包含一层等倍金属层，该等倍金属层形成至少一条导线；所述基底芯片在所述晶圆相邻排列，晶圆切割时将此复数个基底芯片和所述等倍层以切割形成一个喷液芯片。所述喷液芯片在具有大打印幅宽的同时，生产成本得到了降低。