金融界2024年3月28日消息，据国家知识产权局公告，深圳市利和兴股份有限公司取得一项名为“一种一体化晶圆蓝膜覆膜机及其控制系统“，授权公告号CN116631906B，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本申请提供了一种一体化晶圆蓝膜覆膜机及其控制系统，包括机架，机架上分别设有用于存放贴膜完成的晶圆的CST上下料总成、用于添加待加工晶圆的铁环上料总成和对晶圆进行贴膜的贴膜放卷模组；CST上下料总成，包括用于存放晶圆的料仓，料仓上设有支撑隔板，料仓的入料口设有直线模组；铁环上料总成包括铁环上料料仓和二次定位模组，铁环上料料仓上方设有铁环上料机械手；贴膜放卷模组包括贴膜通道，贴膜通道上方依次悬置安装有放卷机构和收卷机构，放卷机构和收卷机构之间设有切膜组件。本申请仅仅需要人工将待加工的晶圆放置到铁环上料料仓内部，不需要人工对晶圆的位置进行调试，可以提高晶圆覆膜的加工效率。