据路透报道，在中国深圳一座安保严密的实验室里，中国科学家已经打造出一种原型机，能够生产最先进的半导体芯片，些芯片是人工智能、智能手机和西方军事主导地位所依赖的核心技术，而这正是华盛顿多年来一直试图阻止的事情。
原型机于2025年初完成，目前正处于测试阶段，看上去几乎占据了一整个工厂车间的面积。
据两位知情人士透露，这台设备由一组来自荷兰半导体巨头ASML的前工程师打造，他们对ASML极紫外光刻机（EUV）进行了逆向工程。
EUV光刻机在技术冷战中是关键。这种设备利用极紫外光束在硅片上蚀刻电路，这些电路比头发丝细成千上万倍。目前仍由西方垄断。电路越小，芯片就越强大。
知情人士表示，中国的这台机器已经投入运行，并成功产生了极紫外光，但尚未制造出可用的芯片。
ASML首席执行官克里斯托夫·福凯在4月表示，中国要发展出这项技术“还需要很多很多年”。但此次由路透首次披露的原型机的存在，表明中国实现半导体独立的时间可能比分析人士预期的更早。
不过，中国仍面临重大技术难题，尤其是在复制由西方供应商制造的高精度光学系统方面。
据两位知情人士透露，通过在二级市场上获取旧款ASML机器的零部件，中国得以制造出这台国产原型机。
政府已经设定目标，要在2028年用原型机制造出可用芯片。
但接近项目的人士表示，一个更现实的目标是2030年。即便如此，也比分析人士此前认为中国要追赶西方芯片技术所需的十年时间，提前了数年。
这一突破，标志着中国政府六年半导体自主计划的阶段性成果。这是习近平高度重视的国家战略目标之一。
尽管中国发展半导体的目标是公开的，但知情人士透露，深圳的EUV项目一直在秘密进行。项目属于国家半导体战略的一部分。
据官方媒体报道，这项战略由习近平的亲信丁薛祥主导，他担任中共中央科技委员会负责人。
据三位消息人士透露，华为在全国范围内协调由数千名工程师组成的公司和国家研究机构网络，在这个项目中发挥了关键作用。
这些人将此形容为中国版的“曼哈顿计划”，即美国在战争时期研发原子弹的努力。
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其中一位人士表示：“目标是最终让中国能够在完全国产的设备上制造先进芯片。中国希望将美国彻底逐出供应链。”
迄今为止，只有一家企业掌握了EUV技术，即总部位于荷兰费尔德霍芬的ASML。公司的光刻机售价约2.5亿美元，是英伟达、AMD等公司设计的最先进芯片制造过程中不可或缺的设备，而芯片的制造商包括台积电、英特尔和三星。
ASML在2001年制造出首个EUV技术原型机，并告诉路透社，公司花费近20年时间以及数十亿欧元的研发支出，才在2019年生产出首批可商业化使用的芯片。
ASML在声明中表示：“其他公司想要复制我们的技术可以理解，但做到这一点绝非易事。”
目前，ASML的EUV系统只对美国盟友开放，包括中华民国、韩国和日本。
从2018年开始，美国开始施压荷兰政府，要求阻止ASML向中国出售EUV系统。限制措施在2022年进一步扩大，当时拜登政府实施了大规模的出口管制，试图切断中国获取先进半导体技术的渠道。
这些管制不仅针对EUV系统，也包括制造华为等公司使用的中低端芯片所需的旧款深紫外（DUV）光刻机，目的是至少让中国在芯片制造能力上落后一代。
美国国务院表示，特朗普政府加强了对先进半导体制造设备出口管制的执行，并正与合作伙伴“配合技术进展，弥补漏洞”。
荷兰国防部表示，荷兰正在制定新政策，要求“科研机构”对人员进行背景审查，以防止“有不良企图或有被施压风险”的人员接触敏感技术。
知情人士表示，出口限制多年来减缓了中国实现半导体自给的进展，也限制了华为在先进芯片生产方面的发展。
据一位熟悉情况的人士透露，一位被招募参与项目的、拥有ASML背景的资深中国工程师，对高额签约奖金感到惊讶。
更令他意外的是，他收到的身份卡上使用了假名。
这位人士表示，进入实验室后，他认出了其他也曾在ASML工作、如今在此项目中担任职务的同事，这些人同样使用假名。
他被指示在工作中也必须使用这些假名，以确保保密。
另一人也独立证实，招募人员会被发放假身份卡，以在这个安保设施内隐匿真实身份。
两位人士称，相关指示非常明确：由于项目被列为国家安全事项，任何人都不得透露他们正在建造什么设备，甚至不能透露他们身在此地。
据称，团队由一批最近退休、出生于中国的前ASML工程师和科学家组成。他们是招募重点，因为他们掌握敏感技术知识，离职后所受的职业限制也较少。
两位目前在荷兰工作的ASML中国籍员工告诉路透社，自2020年起，已有华为的招聘人员联系过他们。
由于欧洲隐私法限制了ASML追踪前员工的能力，尽管员工签署了保密协议，但跨境执行非常困难。
2019年，ASML曾对一名前中国工程师提起诉讼，指控其窃取商业机密，并赢得了8.45亿美元的判决。但法庭文件显示，被告申请破产，目前仍在北京继续创业，且获得中国政府支持。
ASML告诉路透社，公司“严密保护商业机密和保密信息”，“虽然ASML无法控制或限制前员工的就业去向，但所有员工都受合同中的保密条款约束”，并强调曾“在商业机密被盗用时成功采取法律行动”。
ASML称，为了保护EUV技术知识，公司内部也仅限少数员工可接触这些信息。
荷兰情报机构在今年4月发布的一份报告中警告称，中国“通过庞大的间谍计划，试图从西方国家获取先进技术和知识”，包括招募“西方科学家和高科技公司员工”。
知情人士表示，正是这些ASML的前员工促成了深圳的技术突破。没有他们对这项技术的深度了解，想要对这些机器进行逆向工程几乎不可能。
路透社查阅中国政府相关政策文件后发现，从2019年起，中国就开始积极招揽海外半导体专家，提供的签约奖金从300万至500万元人民币（约合42万至70万美元）起步，并提供购房补贴。
被招募人员中包括ASML前光源技术负责人林楠。据专利文件显示，他在中国科学院上海光机所带领的团队，在18个月内申请了8项EUV光源相关专利。
另外两位熟悉中国招才引智计划的人士表示，一些加入项目的外国归化公民获得了中国护照，并被允许保留双重国籍。
走进中国EUV工厂
ASML最先进的EUV系统尺寸大致相当于一辆校车，重量达180吨。两位知情人士表示，由于复制原型的尺寸多次失败，深圳实验室中的这台原型机体积扩大了数倍，以提升功率。
知情人士称，中国的这台原型机虽不如ASML设备精密，但足以进行测试，已具备基本运行能力。
两人表示，中国的设备之所以落后于ASML，主要因为研究人员难以获得如德国蔡司公司提供的光学系统。蔡司是ASML的关键供应商之一。
根据蔡司官网的信息，这些设备通过每秒5万次激光击打熔融锡来生成等离子体，温度可达20万摄氏度。光线需经数月制造的反射镜聚焦。
知情人士称，中国顶级研究机构在研发国产替代产品方面发挥了关键作用。
其中，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（CIOMP），在将极紫外光集成进原型机的光学系统方面取得突破，使其在2025年初实现运行。据其中一位人士称，这套光学系统仍需大量优化。
据研究所官网今年3月的一次线上招聘信息显示，为光刻方向博士提供“无上限”薪资，科研经费最高可达400万元人民币（约合56万美元），另提供100万元人民币（约合14万美元）个人补贴。
研究机构SemiAnalysis分析师、前ASML工程师杰夫·科赫表示，如果“光源功率足够强、运行稳定且污染控制得当”，中国将实现“实质性进展”。
他说：“这在技术上毫无疑问是可行的，问题只在于时间表。中国的优势在于，现在已有商业化的EUV技术，他们不是从零开始。”
两位知情人士表示，为获取关键零部件，中国正在从旧款ASML设备中回收组件，并通过二手市场从ASML供应商处采购部件，有时会通过中介公司网络来掩盖最终买家的身份。
两位消息人士透露，中国的原型机还使用了来自日本尼康和佳能的受出口限制部件。
消息人士称，国际银行定期拍卖旧款半导体制造设备。路透社查阅阿里拍卖平台发现，截至2025年10月，中国仍有拍卖旧款ASML光刻设备的记录。
知情人士透露，大约100名应届大学毕业生专注于对EUV和DUV光刻机组件进行逆向工程。
他们表示，每位员工的工作台上方都安装有摄像头，用于记录其拆解和重组部件的过程。这项工作被描述为中国光刻项目的关键。
据称，成功组装出某个组件的员工可获得奖金。
据四位熟悉华为运营情况的人士透露，虽然EUV项目由中国政府主导，但华为参与了从芯片设计、制造设备、生产流程，到最终集成至智能手机等产品的供应链每一个环节。
其中一人称，首席执行官任正非会向中国高层领导汇报项目进展。
美国政府于2019年将华为列入实体清单，禁止美国企业未经许可与其开展业务。
消息人士表示，华为已向全国各地的办公室、晶圆厂和研究中心派遣员工参与该项目。被分配至半导体团队的员工常年驻厂工作，工作日不得返家，负责敏感任务的团队还被限制使用手机。
其中一位人士说：“在华为内部，几乎没有人知道这项工作的全貌。各个团队彼此隔离，以保障项目机密性。他们不知道其他团队在做什么。”