新时空讯：截至2026年2月13日13:16，中证半导体产业指数(931865)强势上涨1.78%，成分股富创精密上涨13.40%，京仪装备上涨7.40%，中巨芯上涨6.41%，华海诚科，珂玛科技等个股跟涨。半导体设备ETF(561980)上涨1.79%，最新价报2.34元。拉长时间看，截至2026年2月12日，半导体设备ETF近1周累计上涨1.55%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF盘中换手4.03%，成交1.44亿元。拉长时间看，截至2月12日，半导体设备ETF近1月日均成交2.81亿元。
规模方面，半导体设备ETF近1周规模增长5572.64万元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/2。（数据来源：Wind）
份额方面，半导体设备ETF近1月份额增长2.31亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/2。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备ETF最新资金净流入457.86万元。拉长时间看，近23个交易日内有13日资金净流入，合计“吸金”5.50亿元，日均净流入达2391.91万元。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF最新融资买入额达1128.34万元，最新融资余额达1.09亿元。（数据来源：Wind）
截至2月12日，半导体设备ETF近2年净值上涨173.84%，指数股票型基金排名19/2559，居于前0.74%。从收益能力看，截至2026年2月12日，半导体设备ETF自成立以来，最高单月回报为24.91%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为68.32%，涨跌月数比为16/13，上涨月份平均收益率为11.02%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2026年2月12日，半导体设备ETF成立以来超越基准年化收益为0.84%。
截至2026年2月6日，半导体设备ETF近1年夏普比率为1.79，排名可比基金1/2，同等风险下收益最高。
回撤方面，截至2026年2月12日，半导体设备ETF今年以来相对基准回撤0.14%，在可比基金中回撤最小。
费率方面，半导体设备ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年2月12日，半导体设备ETF近1月跟踪误差为0.018%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF紧密跟踪中证半导体产业指数，中证半导体产业指数从上市公司中，选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年1月30日，中证半导体产业指数(931865)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、寒武纪、中芯国际、海光信息、拓荆科技、长川科技、华海清科、中科飞测、南大光电，前十大权重股合计占比74.72%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
大公国际资信评估表示，近年来我国出台一系列专项支持政策，为半导体材料产业发展提供坚实支撑，形成全方位赋能体系，通过明确战略方向、布局中试平台、实施保险补偿等举措，推动产业高质量发展。受半导体产业景气周期、终端需求迭代等因素影响，全球半导体材料市场规模呈现“长期增长、周期波动”的特征，区域版图正随产业链转移与国产化浪潮加速重构。
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