截至2026年3月16日 13:56，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.93%，成分股华峰测控上涨4.92%，江化微上涨4.91%，上海新阳上涨4.77%，神工股份上涨4.49%，金海通上涨4.42%。半导体设备ETF万家(159327)盘中涨超1%。拉长时间看，截至2026年3月13日，半导体设备ETF万家近3月累计上涨12.76%。
近期，半导体设备行业虽短期承压回调，但高景气度的长期逻辑依然坚实。银河证券指出，中芯国际明确2026年底月产能增量预计达折合12英寸4万片，为国内半导体设备企业提供了持续稳定的业绩增量空间；叠加“十五五”规划纲要中强调“加快发展关键装备、材料和零部件”，设备国产化战略地位进一步强化。在AI算力基建加速与成熟制程扩产双轮驱动下，设备环节订单可见性与交付确定性持续提升。
海外云厂商资本开支持续攀升，为半导体设备需求提供强支撑。招银国际数据显示，谷歌、微软、Meta、亚马逊、甲骨文等头部厂商2025年合计资本开支约4200亿美元，2026年预期将超6000亿美元；未来12至24个月仍处于高投入、高交付的紧平衡状态。AI驱动的结构性成长正推动设备厂商从库存周期逻辑转向产能前置逻辑，市场关注重点已由短期供需切换至长期ROIC改善路径。
“十五五”规划纲要正式发布，明确提出“加快发展关键装备”，并将集成电路列为重点培育新产业新赛道，强调提升先进制程制造能力、推进存算一体与三维集成等技术突破。银河证券认为，政策从顶层设计层面强化了半导体设备作为产业链安全基石的战略定位，国产设备企业在刻蚀、薄膜沉积、清洗等核心环节的替代进程有望加速。
数据显示，截至2026年2月27日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、江丰电子，前十大权重股合计占比63.83%。
规模方面，截至2026年3月13日，半导体设备ETF万家最新规模达10.27亿元。从资金净流入方面来看，半导体设备ETF万家近3天获得连续资金净流入，最高单日获得1231.02万元净流入，合计“吸金”3085.32万元。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF万家最新融资买入额达130.53万元，最新融资余额达1256.12万元。（数据来源：Wind）费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
半导体设备ETF万家（159327）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。
以上内容与数据，与有连云立场无关，不构成投资建议。据此操作，风险自担。
