FX168财经报社(香港)讯 摩根大通消息透露，全球晶圆代工领头羊台积电传出，将关闭4台EUV曝光机，引发半导体市场恐慌情绪。但设备业者出面揭露内幕，撇清与市场需求不振、客户砍单等因素挂钩，而是台积电准备展开升级设备行动。
台湾工商时报引述设备业者指出，台积电将旧的4台EUV曝光机关机的目的，是为将设备升级到3600D规格，升级后的单机生产量能(Through Put)可提升18%左右。
上周已有外电报道指出，传闻台积电可能从年底开始关闭部份的EUV设备，一方面是因为市场需求可能出现松动，另一方面则是EUV设备非常耗电。
设备业者指出，像曝光机这类高精密度的半导体机台，就算市场景气不好、客户大幅砍订单，晶圆厂也很少会做出关机的动作。这是因为关机就跟停电一样，所有制程参数都要在重开机后重新再作调整，且无法预期可维持最佳良率。
按照目前台湾电费算相对便宜的状况下，厂商作出贸然关机的动作，可能性不高。至于台积电这次将部份EUV曝光机关机，主要是为了进行设备升级，与近期市况无直接关系。
据相关设备业者的说法，台积电3400B及3400C旧机型EUV曝光机，将关机进行升级，调整后将可升级到3600D规格，这样一来单机生产量能可提升约18%，而且设备升级是依原订计划进行，并不是市况不佳而导致关机停产，更不是为了节省电费的目的。
台积电7日亚市午盘走跌3.17%，报在新台币473.50，距离新台币500门槛越来越远。台媒报道，因个人电脑(PC)、手机、显示卡等消费性电子产品需求衰退，先进制程产能利用率下滑的情形可能持续一段时间，台积电计划从今年底开始关闭部分EUV机台。
目前台积电拥有约80台EUV机台，用于生产7奈米、5奈米先进制程芯片，9月也开始用于3奈米制程。
美系外资发布研究报告分析，随着智慧型手机与高效能运算更多客户砍单，加上库存去化持续、需求减弱的情形扩及资料中心市场，台积电2023年营运恐放缓，预估明年以美元计算营收将年增5%、每股盈余将年减8%，资本支出将下调至360亿美元。
美系外资指出，台积电7奈米和6奈米制程产能利用率目前已低于95%，由于需求转弱、智慧型手机与高效能运算芯片陆续转移到5奈米制程生产，明年7奈制程产能利用率可能跌破90%。
不过，美系外资对台积电先进技术的规划仍有信心，加上高效能运算应用贡献增加，看好台积电未来3到5年表现将优于同业，维持“加码”投资评等。
台积电曾指出，EUV技术的应用是半导体制程成功演进到5奈米以下的关键，但EUV机台耗电量是传统深紫外光微影(DUV)机台的10倍以上。
随着先进制程不断演进及积体电路制程日益複杂，用电量同步增加，台积电不仅积极购买再生能源，同时投入资源开发绿色机台。
台积电在2021年设立全台第一座EUV光阻生产工厂，截至2022年4月已产出超过千瓶EUV光阻剂，创造逾新台币1亿元商业价值，年产值将超过10亿元，同时达到资产活化再利用效益。
