FX168財經報社(香港)訊 摩根大通消息透露，全球晶圓代工領頭羊台積電傳出，將關閉4台EUV曝光機，引發半導體市場恐慌情緒。但設備業者出面揭露內幕，撇清與市場需求不振、客戶砍單等因素掛鉤，而是台積電準備展開升級設備行動。
台灣工商時報引述設備業者指出，台積電將舊的4台EUV曝光機關機的目的，是為將設備升級到3600D規格，升級後的單機生產量能(Through Put)可提升18%左右。
上周已有外電報道指出，傳聞台積電可能從年底開始關閉部份的EUV設備，一方面是因為市場需求可能出現松動，另一方面則是EUV設備非常耗電。
設備業者指出，像曝光機這類高精密度的半導體機台，就算市場景氣不好、客戶大幅砍訂單，晶圓廠也很少會做出關機的動作。這是因為關機就跟停電一樣，所有制程參數都要在重開機後重新再作調整，且無法預期可維持最佳良率。
按照目前台灣電費算相對便宜的狀況下，廠商作出貿然關機的動作，可能性不高。至於台積電這次將部份EUV曝光機關機，主要是為了進行設備升級，與近期市況無直接關系。
據相關設備業者的說法，台積電3400B及3400C舊機型EUV曝光機，將關機進行升級，調整後將可升級到3600D規格，這樣一來單機生產量能可提升約18%，而且設備升級是依原訂計劃進行，並不是市況不佳而導致關機停產，更不是為了節省電費的目的。
台積電7日亞市午盤走跌3.17%，報在新台幣473.50，距離新台幣500門檻越來越遠。台媒報道，因個人電腦(PC)、手機、顯示卡等消費性電子產品需求衰退，先進制程產能利用率下滑的情形可能持續一段時間，台積電計劃從今年底開始關閉部分EUV機台。
目前台積電擁有約80台EUV機台，用於生產7奈米、5奈米先進制程芯片，9月也開始用於3奈米制程。
美系外資發布研究報告分析，隨着智慧型手機與高效能運算更多客戶砍單，加上庫存去化持續、需求減弱的情形擴及資料中心市場，台積電2023年營運恐放緩，預估明年以美元計算營收將年增5%、每股盈餘將年減8%，資本支出將下調至360億美元。
美系外資指出，台積電7奈米和6奈米制程產能利用率目前已低於95%，由於需求轉弱、智慧型手機與高效能運算芯片陸續轉移到5奈米制程生產，明年7奈制程產能利用率可能跌破90%。
不過，美系外資對台積電先進技術的規劃仍有信心，加上高效能運算應用貢獻增加，看好台積電未來3到5年表現將優於同業，維持“加碼”投資評等。
台積電曾指出，EUV技術的應用是半導體制程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影(DUV)機台的10倍以上。
隨着先進制程不斷演進及積體電路制程日益複雜，用電量同步增加，台積電不僅積極購買再生能源，同時投入資源開發綠色機台。
台積電在2021年設立全台第一座EUV光阻生產工廠，截至2022年4月已產出超過千瓶EUV光阻劑，創造逾新台幣1億元商業價值，年產值將超過10億元，同時達到資產活化再利用效益。
